光學鍍膜系統(tǒng)：NANO-MASTER NOC-4000光學涂覆系統(tǒng)提供*進的技術(shù)，在一個腔體中實現(xiàn)原子級清洗和光學樣片拋光，然后把樣片傳送到第二級腔體中對同一樣片進行表面涂覆，整個過程不間斷真空。系統(tǒng)的設(shè)計也可以支持其中任一個腔體的單獨使用，同時具備各自的自動上/下載片功能。

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廠商性質(zhì)：代理商
更新時間：2025-09-17
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光學鍍膜系統(tǒng)概述：NANO-MASTER NOC-4000光學涂覆系統(tǒng)提供*進的技術(shù)，在一個腔體中實現(xiàn)原子級清洗和光學樣片拋光，然后把樣片傳送到第二級腔體中對同一樣片進行表面涂覆，整個過程不間斷真空。系統(tǒng)的設(shè)計也可以支持其中任一個腔體的單獨使用，同時具備各自的自動上/下載片功能。

光學鍍膜系統(tǒng)應(yīng)用

光學涂層
濺射
離子束輔助沉積
離子束刻蝕清洗
離子束輔助反應(yīng)刻蝕
紅外涂層
表面處理

光學鍍膜系統(tǒng)產(chǎn)品特點:

射頻偏壓樣品臺
膜厚監(jiān)測儀
極限真空5x10-7Torr
高精度及高重復(fù)性
高品質(zhì)膜層
原子級的潔凈表面
原子級清洗和拋光
通過LabView軟件實現(xiàn)PC計算機全自動控制
自動上下載片
兩個腔體之間自動傳送
菜單驅(qū)動，4級密碼訪問保護
完整的安全聯(lián)鎖
占地面積46”D x 44”W

光學鍍膜系統(tǒng)選配項:

向下/向上濺射
共濺射
DC，RF以及脈沖電源
離子束輔助沉積
電子束源
等離子源

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