進(jìn)口微波去膠機(jī)*款適用于遠(yuǎn)程控制的設(shè)備

更新時間：2015-10-28

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　　進(jìn)口微波去膠機(jī)是石英腔的微波等離子系統(tǒng)，可以安裝到超凈間墻上。該系列的微波等離子系統(tǒng)可以用于批處理，也可以作為單片處理，系統(tǒng)為計算機(jī)全自動控制的系統(tǒng)。典型工藝包含：大劑量離子注入后的光刻膠去除；干法刻蝕工藝的前處理或后處理；MEMS制造中的犧牲層去除。
　　
進(jìn)口微波去膠機(jī)系統(tǒng)控制：
　　PC, Windows, RS 232, USB, Ethernet (也適用于遠(yuǎn)程控制)
　　10.4”觸摸屏、圖形用戶界面
　　Windows Office兼容
　　存儲處理數(shù)據(jù)和錯誤信息，處理數(shù)據(jù)輸出
　　工藝參數(shù)圖形曲線的監(jiān)測
　　自動或手動操作
　　
進(jìn)口微波去膠機(jī)工藝參數(shù)：
　　材質(zhì)：石英玻璃
　　容積：21公升
　　腔體尺寸：直徑240mm，深度460mm
　　腔體后部：鋁
　　腔門：鋁質(zhì)材料制作，抽拉式支撐架跟前門相連，便于手動放片；
　　氣體分布：前門擴(kuò)散
　　觀察視窗：防紫外及微波
　　支撐架：鋁質(zhì)材料，
　　真空連接：DN40 ISO-KF
　　壓力控制：Pirani，1-100Pa
　　真空泵：推薦35m3/h
　　真空閥：電子氣動閥，DN40 ISO-KF
　　真空密封：硅樹脂
　　氣體供應(yīng)：1路數(shù)字顯示的質(zhì)量流量器控制
　　氣體通道：3路數(shù)字MFC，裝有電磁閥，1000/500/200sccm（N2校準(zhǔn)），1/4" Swagelok接頭
　　卸壓：電磁閥，1/4" Swagelok接頭
　　功率：2.45GHz，50-1200W連續(xù)可調(diào)
　　耦合：微波天線，鋁質(zhì)諧振器，腔體內(nèi)無電極
　　
進(jìn)口微波去膠機(jī)選配：
　　真空泵：雙級真空泵，如，抽吸能力大40m3/h
　　氣路：額外的數(shù)字顯示質(zhì)量流量控制器
　　旋轉(zhuǎn)臺：鋁，直徑200mm,速度可調(diào)
　　ECR(電子回旋共振)：鋁、支架配置永磁體

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