全自動磁控濺射系統(tǒng)帶有水冷或者加熱(可加熱到700度)功能，可達(dá)到6"旋轉(zhuǎn)平臺，支持到4個偏軸平面磁控管。系統(tǒng)配套渦輪分子泵，極限真空可達(dá)10-7Torr，15分鐘內(nèi)可以達(dá)到10-6Torr的真空。通過調(diào)整磁控管與基片之間的距離，可以獲得想要的均勻度和沉積速度。
全自動磁控濺射系統(tǒng)的產(chǎn)品特點：
不銹鋼腔體
260l/s或350l/s的渦輪分子泵，串接機械泵或干泵
13.56MHz，300-600WRF射頻電源以及1KWDC直流電源
晶振夾具具有的<1?的厚度分辨率
帶觀察視窗的腔門易于上下載片
基于LabView軟件的PC計算機控制
帶密碼保護(hù)功能的多級訪問控制
*的安全聯(lián)鎖功能
預(yù)真空鎖以及自動晶圓片上/下載片
選配項：
RF、DC濺射
熱蒸鍍能力
RF或DC偏壓(1000V)
樣品臺可加熱到700°C
膜厚監(jiān)測儀
基片的RF射頻等離子清洗
全自動磁控濺射系統(tǒng)的應(yīng)用：
晶圓片、陶瓷片、玻璃白片以及磁頭等的金屬以及介質(zhì)涂覆，光學(xué)以及ITO涂覆，帶高溫樣品臺和脈沖DC電源的硬涂覆。
產(chǎn)品分類
更新時間：2022-05-10 
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